Je nach Bauteil braucht es eine ganze Reihe an Spezialgeräten, damit die Forschenden der TU Braunschweig ihr Ziel erreichen können. Besonders delikate Prozesse finden dabei im Reinraum des Instituts für Halbleitertechnik statt. Bildnachweis: Max Fuhrmann/TU Braunschweig

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